• FT-3110系列全自動四探針測試儀

    發布時間: 2021-04-26 13:00:00 點擊: 729
    FT-3110系列全自動四探針測試儀

    FT-3110系列全自動四探針測試儀

    .功能描述

    四點探針法,全自動化運行測量系統,PC軟件采集和數據處理;參照A.S.T.M 標準方法測試半導體材料電阻率和方塊電阻;可設定探針壓力值、測試點數、多種測量模式選擇;真空環境,可顯示:方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數值圖、溫濕度值、提供標準校準電阻件.   報表輸出數據統計分析.

    .適用范圍

    晶圓、非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量;選擇性發射極擴散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結擴散片;新型電極設計,如電鍍銅電阻測量等;半導體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽能電池,LCD,OLED,觸摸屏等.

     

    三.技術參數:

    規格型號

    FT-3110A

    FT-3110B

    1.電阻

    10^-5~2×10^5Ω

    10^-6~2×10^5Ω

    2.方塊電阻 

    10^-5~2×10^5Ω/□

    10^-6~2×10^5Ω/□

    3.電阻率 

    10^-6~2×10^6Ω-cm

    10-7~2×106Ω-cm

    4.測試電流 

    0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,

     

    10mA,100mA

    1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

    5.電流精度 

    ±0.1%

    6.電阻精度 

    ≤0.3%

    7.PC軟件操作

    PC軟件界面:電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、

    報表生成等

    8.壓力范圍:

    探針壓力可調范圍:軟件控制,100-500g可調

    9.探針

    針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3%

    圓頭銅鍍金材質,探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規格可定制

    10.可測晶片

    尺寸選購

     

    晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);

    方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

    11.分析模式

    單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試

    12.加壓方式

    測量重復性:重復性≤3% 

    13.安全防護

    具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報

    14.測試環境

    真空

    15.電源

    輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 

    16.選購項目

    電腦和打印機

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